アップ・テック・ジャパンは高純度ガス精製装置、環境・ガス分析装置、半導体製造関連装置・材料等の輸入販売を行っています。

ゲッター精製装置のメカニズム（Zirconium Alloys）

基礎材料：ジルコニウム合金
精製対象ガス：バルク・ガス（N2、Ar、He、H2）
対象除去不純物：O2、H2O、CO2、H2、N2、THC
精製反応：ジルコニウム合金は不純物と反応し、安定した化合物を作ります。
Zr＋O2→ZrO（不可逆的化学吸着）
Zr＋H2O→ZrO＋ZrH（不可逆的化学吸着）
Zr＋CO→ZrO＋ZrC（不可逆的化学吸着）
Zr＋CO2→ZrC＋ZrO（不可逆的化学吸着）
Zr＋H2→ZrH（Reversible Chemical Adsorption）
Zr＋N2→ZrN H2, Ar, Heのみ（不可逆的化学吸着）