アップ・テック・ジャパンは高純度ガス精製装置、環境・ガス分析装置、半導体製造関連装置・材料等の輸入販売を行っています。

高純度ガス精製装置
高純度ガス精製装置 環境・ガス分析装置 産業機器関連・先端材料 関連情報 技術資料集

ガスの種類に応じた最適な精製装置をご提案します。

精製装置総合カタログ

精製装置総合カタログ

精製装置総合カタログ

精製装置総合カタログ



高圧ガス精製

高圧ガス精製

高圧ガス精製

高圧ガス精製



小型ガス精製装置 Mono Torr[ゲッター式]

小型ガス精製装置 Mono Torr[ゲッター式]

型 式

プロセスガス

最大流量


GC50

窒素/アルゴンガス用

200sccm

GC50詳細情報


PS3

窒素/アルゴンガス用

20slpm

PS3詳細情報


PS4-MT3

窒素/アルゴン/水素ガス/メタン用

20slpm

PS4-MT3詳細情報


PS4-MT15

窒素/アルゴン/水素ガス用

50slpm

PS4-MT15詳細情報


PS4ハイフロー

窒素/アルゴンガス用

100slpm

PS4ハイフロー100slpm詳細情報


PS4ハイフロー

水素ガス用

150slpm

PS4ハイフロー150slpm詳細情報



※ゲッター式ガス精製装置は半導体関連分野に設計された装置です。 ※部品販売はお問い合わせください。

小型ガス精製装置 Mono Torr[触媒/吸着式]

小型ガス精製装置 MonoTorr [触媒/吸着式]

型 式

プロセスガス

最大流量


PS15-MT3

酸素/CDAガス用

10slpm

PS15-MT3詳細情報


PS15-MT15

酸素/CDAガス用

50slpm

PS15-MT15詳細情報


PS15-MT50

酸素/CDAガス用

100slpm

PS15-MT50詳細情報



※部品販売はお問い合わせください。

小型ガス精製装置 [パラジウム膜]

PS7-PD05

型 式

プロセスガス

最大流量


PS7-PD05

水素

50slpm

PE-2100詳細情報



※部品販売はお問い合わせください。

大型ガス精製装置 Mega Torr[ゲッター式]

大型ガス精製装置 Mega Torr[ゲッター式]

型 式

プロセスガス

最大流量


PS5

アルゴンガス用

200Nm3/H

PS5詳細情報


PS7

水素ガス用

160Nm3/H

PS7詳細情報



※ゲッター式ガス精製装置は半導体関連分野に設計された装置です。 ※部品販売はお問い合わせください。

大型ガス精製装置 Mega Torr[触媒/吸着式]

大型ガス精製装置 Mega Torr[触媒/吸着式]

型 式

プロセスガス

最大流量


PS6(触媒/吸着式)

酸素ガス用

300Nm3/H

PS6詳細情報


PS7-A(吸着式)

水素ガス用

500Nm3/H

PS7-A(吸着式)詳細情報


PS8(吸着式)

窒素/希ガス用

20,000Nm3/H

PS8(吸着式)詳細情報


PS9(触媒/吸着式)

窒素/希ガス用

6,000Nm3/H

PS9(触媒/吸着式)詳細情報


PS14(吸着式)

窒素/希ガス用

3,000Nm3/H

PS14(吸着式)詳細情報


PS21(吸着式)

アンモニアガス用

60Nm3/H

PS21(吸着式)詳細情報


PS22(吸着式)

CDA/窒素ガス用

4,000Nm3/H

PS22(吸着式)


PS31/32(吸着式)

CO2ガス用

500Nm3/H

PS3(吸着式)


PS33(触媒/吸着式)

CO2ガス用

詳細はお問い合わせください



※部品販売はお問い合わせください。

大型ガス精製装置 [パラジウム膜]

PS7-PD1

型 式

プロセスガス

最大流量


PS7-PD1

水素

65Nm3/H

PS7*PD1詳細情報



※部品販売はお問い合わせください。

Point-of-Useガスフィルター

Micro Torr

Micro Torr

Micro Torr 詳細情報


mc1詳細情報
mc50詳細情報
mc190詳細情報
mc200詳細情報
mc400詳細情報
mc500詳細情報
mc700詳細情報
mc1500詳細情報
mc3000詳細情報
mc4500詳細情報
SPシリーズ

Facili Torr

Facili Torr

Facili Torr 詳細情報